Das HHI hat 268 Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter. Mehr als 10 000 m² Büro-, Labor- und Reinraumfläche stehen für die Bearbeitung der FuE-Aufträge zur Verfügung.

• Komplette InP-Prozesslinie (Reinraum Klasse 10/1000, Lithographie
• Trockenätzanlagen, Aufdampf-, Sputter- und PECVD-Anlagen, Dotierungsdiffusion)
• CAD-System für Maskenherstellung
• Elektronenstrahl-Lithographie
• AR/HR-Beschichtung
• Chip-Montage, Faser-Chip-Kopplung
• Rasterelektronenmikroskop, Atomic Force Microscope